10. September 2018

Neues Cluster-Tool für Hochtemperaturprozesse am HZDR

Das Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR) entwickelte gemeinsam mit Partnern ein neues Cluster-Tool. Darin werden drei verschiedene Analyseverfahren miteinander kombiniert: die Rutherford-Rückstreu-Spektrometrie, die Raman-Spektrometrie und die Spektroskopische Ellipsometrie. Mit dem Cluster-Tool lassen sich funktionale Schichten im Nano- bis Mikrometer-Bereich erzeugen und bei Temperaturen bis 800 Grad Celsius auf ihre strukturellen sowie optischen Eigenschaften „in situ“ und in Echtzeit prüfen. So wollen die Wissenschaftler ein besseres Verständnis der Prozesse gewinnen, die bei hohen Temperaturen in mehrlagigen funktionalen Dünnschichten ablaufen. Auf diese Weise lassen sich die optischen, elektrischen, mechanischen oder auch chemischen Eigenschaften einer Oberfläche gezielt verändern – mit Auswirkungen auf die Funktionseigenschaften des Festkörpers.

Erfahren Sie mehr über das neue Cluster-Tool, dessen Verfahrenskombination und Einsatzmöglichkeiten im Artikel „Cluster-Tool beobachtet Hochtemperatur-Prozesse in funktionalen Dünnschichten“ des HZDR.

Foto ©O. Killig, HZDR: Cluster-Tool am HZDR-Ionenstrahlzentrum.

 

Das könnte Sie auch interessieren

11. Nov 2019

Magnetisches Tuning auf der Nanoskala

Manipulation von Materialeigenschaften mittels Helium-Ionen-Mikroskop am HZDR. Magnetische Nanostrukturen maßgeschneidert herstellen und nanomagnetische Materialeigenschaften gezielt beeinflussen, daran arbeiten Physiker des…

WEITERLESEN

08. Mai 2018

ITM der TU Dresden und Leibniz…

Das Institut für Textilmaschinen und Textile Hochleistungswerkstofftechnik (ITM) der TU Dresden und das

WEITERLESEN

09. Jun 2017

Fraunhofer Institute for Manufacturing Technology and…

Fraunhofer IFAM Dresden focuses on fundamental and applied research for the solution-oriented material and technology development of innovative sintered and…

WEITERLESEN