10. September 2018

Neues Cluster-Tool für Hochtemperaturprozesse am HZDR

Das Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR) entwickelte gemeinsam mit Partnern ein neues Cluster-Tool. Darin werden drei verschiedene Analyseverfahren miteinander kombiniert: die Rutherford-Rückstreu-Spektrometrie, die Raman-Spektrometrie und die Spektroskopische Ellipsometrie. Mit dem Cluster-Tool lassen sich funktionale Schichten im Nano- bis Mikrometer-Bereich erzeugen und bei Temperaturen bis 800 Grad Celsius auf ihre strukturellen sowie optischen Eigenschaften „in situ“ und in Echtzeit prüfen. So wollen die Wissenschaftler ein besseres Verständnis der Prozesse gewinnen, die bei hohen Temperaturen in mehrlagigen funktionalen Dünnschichten ablaufen. Auf diese Weise lassen sich die optischen, elektrischen, mechanischen oder auch chemischen Eigenschaften einer Oberfläche gezielt verändern – mit Auswirkungen auf die Funktionseigenschaften des Festkörpers.

Erfahren Sie mehr über das neue Cluster-Tool, dessen Verfahrenskombination und Einsatzmöglichkeiten im Artikel „Cluster-Tool beobachtet Hochtemperatur-Prozesse in funktionalen Dünnschichten“ des HZDR.

Foto ©O. Killig, HZDR: Cluster-Tool am HZDR-Ionenstrahlzentrum.

 

Das könnte Sie auch interessieren

02. Apr 2020

Führungswechsel am HZDR

Professor Sebastian M. Schmidt übernimmt Position des Wissenschaftlichen Direktors am HZDR. Zum 1. April 2020 tritt Professor Sebastian M. Schmidt…

WEITERLESEN

02. Aug 2019

Professur für Montagetechnik für textile Produkte…

Zum 1. August 2019 ernannte die TU Dresden Herrn Professor Dr.-Ing. habil. Yordan Kyosev zum Universitätsprofessor (W3). Herr Kyosev übernimmt…

WEITERLESEN

09. Jun 2017

Fraunhofer Institute for Material and Beam…

Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS Dresden stands for innovations in laser and surface technology. As an institute of the…

WEITERLESEN