10. September 2018

Neues Cluster-Tool für Hochtemperaturprozesse am HZDR

Das Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR) entwickelte gemeinsam mit Partnern ein neues Cluster-Tool. Darin werden drei verschiedene Analyseverfahren miteinander kombiniert: die Rutherford-Rückstreu-Spektrometrie, die Raman-Spektrometrie und die Spektroskopische Ellipsometrie. Mit dem Cluster-Tool lassen sich funktionale Schichten im Nano- bis Mikrometer-Bereich erzeugen und bei Temperaturen bis 800 Grad Celsius auf ihre strukturellen sowie optischen Eigenschaften „in situ“ und in Echtzeit prüfen. So wollen die Wissenschaftler ein besseres Verständnis der Prozesse gewinnen, die bei hohen Temperaturen in mehrlagigen funktionalen Dünnschichten ablaufen. Auf diese Weise lassen sich die optischen, elektrischen, mechanischen oder auch chemischen Eigenschaften einer Oberfläche gezielt verändern – mit Auswirkungen auf die Funktionseigenschaften des Festkörpers.

Erfahren Sie mehr über das neue Cluster-Tool, dessen Verfahrenskombination und Einsatzmöglichkeiten im Artikel „Cluster-Tool beobachtet Hochtemperatur-Prozesse in funktionalen Dünnschichten“ des HZDR.

Foto ©O. Killig, HZDR: Cluster-Tool am HZDR-Ionenstrahlzentrum.

 

Das könnte Sie auch interessieren

07. Nov 2018

Der 3. Streich: Sächsischer Staatspreis für…

Das Technische Design hat wieder Grund zur Freude: Zum dritten Mal in Folge erhalten zwei Studierenden den Sächsischen Staatspreis für…

WEITERLESEN

11. Jul 2018

Eine für alles: Revolution im Karosseriebau

Um die Maße von Karosseriebauteilen und -baugruppen auch nur einer einzigen Modellvariante zu überprüfen, benötigten Automobilhersteller bisher dutzende von individuellen…

WEITERLESEN

24. Jun 2017

Dummy

Lorem ipsum dolor sit amet, consectetuer adipiscing elit. Aenean commodo ligula eget dolor. Aenean massa. Cum sociis natoque penatibus et…

WEITERLESEN